江苏XRD薄膜检测-半导体薄膜测试机构-XRD薄膜检测测试

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x射线衍射仪(xrd)相关术语解释

防散射狭缝测角仪上用来防止一些附加散射如各狭缝光阑边缘的散射，xrd薄膜检测平台，光路上其它金属附件的散射进入检测器，有助于减低背景。防散射狭缝是光路中的辅助狭缝，它能---由于不同原因产生的附加散射进入检测器。例如光路中空气的散射、狭缝边缘的散射、样品框的散射等等。此狭缝如果选用得当，可以得到低的背底，而衍射线强度的降低不超过2％。如果衍射线强度损失太多，则应改较宽的防散射狭缝。

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通常称为晶块尺寸或晶粒尺寸。计算晶块尺寸时，一般采用低角度的衍射线。但是，如果晶块尺寸较大，可用较高衍射角的衍射线。

使用谢乐公式计算晶粒尺寸时，若晶粒尺寸在30nm左右，计算结果较为准确。此公式适用范围为size<100nm。判断一个样品是否存在晶粒细化的依据是：衍射峰宽化与衍射角的余弦成反比。

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