半导体研究所-四川XRD掠入射GIXRD检测

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应力计算

?读入原始数据文件，或按ψ角由小到大的顺序读入5个独立文件

?作---的图谱平滑处理

?选择calculate stress

?在每个数据行的ψ列下单击，输入不同的ψ值;

?在e=和υ=位置分别输入样品的弹性模量和泊松比;

?按“fit all按钮，拟合全部ψ角下的曲线；

?在窗口下端显示样品的残余应力:

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x射线衍射仪(xrd)相关术语解释

密封式管

这是常使用的x射线管，它的靶和灯丝密封在高真空的壳体内。壳体上有对x射线“透明”的x射线出射“窗孔”。靶和灯丝不能更换，如果需要使用另一种靶，就需要换用另一只相应靶材的管子。这种管子使用方便，但若灯丝烧断后它的寿命也就完全终结了。密封式x射线管的寿命一般为1000—2000小时，它的报废往往并不是与因灯丝损坏，而是由于靶面被熔毁或因受到钨蒸气及管内受热部分金属的污染，xrd掠入射gixrd检测机构，致使发射的x射线谱线“不纯”而被废用。

可拆式管

这种x射线管在动真空下工作，配有真空系统，使用时需抽真空使管内真空度达到10－5毫帕或---的真空度。不同元素的靶可以随时更换，灯丝损坏后也可以更换，这种管的寿命可以说是的。

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