XRD掠入射GIXRD检测测试-半导体研究所(商家)

xrd掠入射gixrd检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，xrd掠入射gixrd检测测试，主要---半导体产业发展的应用技术研究，---重大技术应用的基础研究，xrd掠入射gixrd检测平台，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

xrd常用于测试金属、非金属、无机材料和有一定结晶的高分子材料的物相分析。在样品测试形态上，一般为干燥的粉末，块体或者薄膜结构。

技术特点

常规测试中，xrd更多地被用于对材料进行物相定性分析，而对于物相结构的定量分析而言，xrd一般只能检测样品含量在1%以上的物相，准确度一般为1%的数量级。

需要注意的是，xrd不能通过直接测量衍射峰的面积来求物相的含量。因为对于xrd图谱而言，其测定的衍射强度是经过试样吸收之后表现出来的，这意味着衍射强度还与吸收系数有关，而吸收系数又依赖于物相浓度。所以要测某个物相的含量，首先必须明确衍射强度、物相含量和吸收系数之间的关系。

常规定量分析方法有：外标法、内标法、k值法、直接对比法、绝热法等。目前，做物相定量分析可以利用reitveld结构精修的办法进行数学处理得出各物相的具体含量。一般不用xrd来分析体相元素含量，通常是用它来分析不同结构的含量。与其他技术相比，xrd可以用来区分具有相同元素但不同物相的物质，如锐钛矿tio2和金红石tio2。

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xrd分析与xrf分析的异同

1，用途不同。xrd是x射线衍射光谱，x－ray diffraction ---ysis)是用于测定晶体的结构的，而xrf是x射线荧光发射谱，x－ray fluorescence ---ysis)主要用于元素的定性、定量分析的，一般测定原子序数小于na的元素，定量测定的浓度范围是常量、微量、痕量。

2，原理上的差别：xrd是以x射线的相干散射为基础，以布拉格公式2d sinθ=nλ、晶体理论、倒易点阵厄瓦尔德图解为主要原理的；

xrf则是以莫斯莱定律(1/λ)1/2=k(z-s)，k，s是与线性有关的常数。因此，得出不同元素具有不同的x射线即特征线为基础对元素定性、定量分析的。

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