XRD掠入射GIXRD检测机构-半导体单晶XRD---

xrd掠入射gixrd检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要---半导体产业发展的应用技术研究，---重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

不同晶粒度的同一物相，rir值相差很大

rir值实际上与物相的很多结构因素有关。晶粒大小是影响rir值的关键因素。如果被测物相是纳米晶粒，也按正常的rir值进行分数计算，则计算结果可能会与实际值相差很大。一般来说，晶粒越小，衍射峰高越低，则实际rir值越小，有时只有pdf卡片上的rir值的1/10。影响rir值的另一个因素是粉末的研磨程度。研磨越久，rir值会越小。

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用origin计算残余应力

?分别测量φ=0，15，25，35，广西壮族自治xrd掠入射gixrd检测，45°的衍射谱；

?用jade5打开各个衍射谱，做拟合，得到峰位(也可以将衍射图数据转换成txt文本文件，再用origin绘制图谱做拟合，求峰位);

?用excel建立sin2 ψ-2θ表；●用origin作sin2 ψ-2θ图并作直线拟合，得到斜率m；●查找材料的弹性模量和泊松比，计算弹性常数k；

●按σ=km计算应力。

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