贵州XRD小角度检测-半导体XRD薄膜测试

xrd小角度检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要---半导体产业发展的应用技术研究，---重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

用origin计算残余应力

?分别测量φ=0，15，25，35，45°的衍射谱；

?用jade5打开各个衍射谱，做拟合，得到峰位(也可以将衍射图数据转换成txt文本文件，再用origin绘制图谱做拟合，求峰位);

?用excel建立sin2 ψ-2θ表；●用origin作sin2 ψ-2θ图并作直线拟合，得到斜率m；●查找材料的弹性模量和泊松比，计算弹性常数k；

●按σ=km计算应力。

欢迎来电咨询科学院半导体研究所了解更多xrd小角度检测~

xrd小角度检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要---半导体产业发展的应用技术研究，---重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

无i---检索就是对图谱不作任何处理、不规定检索卡片库、也不作元素限定、检索对象选择为主相s/m focus on major phases。

这种方法一般可检测出样品中的主要的物相。在对样品无任何已知信息的情况下可试着检索出样品中的主要物相，进而通过检索出来的主要物相了解样品中元素的组成。另外，在考虑样品受到污染、反应不完全的情况可试探样品中是否存在未知的元素。但是，这种方法不可能检索出全部物相，并且检索结果可能与实际存在的物相偏差较大，需要其它实验作进一步证实。

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