半导体薄膜测试机构-新疆维吾尔自治XRD物相分析检测

xrd物相分析检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要---半导体产业发展的应用技术研究，---重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

x射线衍射技术是材料科学中常用的实验手段之一，其应用范围极广，可用于材料表征、结构分析等领域。掠入射x射线衍射gi-xrd技术是x射线衍射技术的一种，它与传统的xrd实验不同，主要是改变了x射线入射的角度和样品的朝向。掠入射xrd技术具有许多的优势，能够在材料表征和结构分析中发挥重要的作用。

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同时存在晶粒细化与微应变

令k=1，作图，用小二乘法作直线拟合，则从直线的斜率可求出微观应变；而直线在纵坐标上的截距即为晶块尺寸的倒数。

晶粒尺寸与微观应变计算时应当注意的问题

首先，应当正确地判断样品的衍射峰宽化的原因。jade采用作图法，如果数据点基本上是在一条水平线附近，则应当只有晶粒细化的因素存在；若数据点保持在一条斜线附近，则表明有微应变存在。此时应进一步判断是否除微应变外是否还存在晶粒细化。

其次，测量前应当制作相应的仪器宽度曲线。测量仪器宽度曲线的样品应当是粗晶粒且无应变的粉末样品。仪器宽度曲线的测量应当与样品的测量条件相同。不同的测量条件可能导致不同的仪器宽度变化规律。

后，合适的拟合条件也是很重要的，不同的拟合参数可能会得到不同的计算结果。

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