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半导体xrd检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一,主要---半导体产业发展的应用技术研究,---重大技术应用的基础研究,从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究,以及行业应用技术开发。
由于百分之一i百的晶态的试样比较难制备,所以通常使用差异分析法。假定结晶相百分数正比于衍射峰积分强度之和,非晶相百分数正比于非晶散射峰积分强度。
即xc=pic;xa=qia
则:xc=ic(ic+kia)x100%
【注意:ic为晶体部分的衍射积分强度,半导体xrd检测实验室,ia为非晶部分的衍射积分强度。k=q/p,是晶体部分和非晶部分之间的单位物质的相对散射因子】
由上式已知,若温度k也已知,则即可求出样品的结晶点。但相对干同一个试模而言,k是常量。人们可利用测定二个不同结晶度的同一试模来计算出k值,从而得出试样的结晶度。
相对结晶度
如果将k值取1则xc=ic/(ic+ia),即为相对结晶度。
这个统计方法虽然不准确,但对试样也存在择优取向,且同晶相合非晶相的化学成分也相同,可认为,该法有比较意义。其实,得到结晶性相当麻烦,所以相对结晶度反而是比较常用的办法。
分析晶体衍射基础的公式是布拉格定律:2d sinθ=nλ
【注意:λ为x guang线的长度,n则为的正整数,半导体xrd检测报告,即衍射级数】
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单峰搜索法是jade很有特色的一种检索方法。当多数主要物相被检索出来,但还存在某几个衍射峰未归属时,广东半导体xrd检测,这种方法---有效。其方法是:选择“计算峰面积(peak paint)”按钮,选定一个角度范围进行检索。
这种方法的特点是:
(1) 检索出来的物相是在角度范围内有衍射峰的物相;
(2) 可同时选择几个相似的衍射峰;
(3) 加上其它限定条件,可以检索出样品中全部物相。
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判断一个物相的存在与否有三个条件:
(1) 标准卡片中的峰位与测量峰的峰位是否匹配;
(2) 标准卡片的峰强比与样品峰的峰强比要大致相同;
(3) 检索出来的物相包含的元素在样品中必须存在。
jade物相检索的常用方法有:无i---检索法和限定条件检索法。其中可限定的条件包括:pdf卡片库、元素组合、设置检索焦点、单峰检索。另外,也可以对物相进行反查。
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