湖南XRD掠入射GIXRD检测-半导体XRD薄膜测试

xrd掠入射gixrd检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要---半导体产业发展的应用技术研究，---重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

x射线衍射仪(xrd)相关术语解释

微区衍射仪

微区衍射仪是按平行光束型衍射几何设计的，使用特殊的大窗口闪烁检测器或环形窗口的正比检测器。工作时，xrd掠入射gixrd检测平台，检测器沿入射线方向移动，通过固定直径的环形狭缝对各衍射锥面的总强度依次地进行测量。由于它使用细平行光束，故能对样品的一个微区直径可小至30μm进行衍射分析。

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xrd测试作为常用测试之一，但仍有许多同学不太了解，

jade 是分析xrd数据的常用软件之一。使用jade 进行xrd物相分析的主要环节，包括：“文件导入--扣除背底--平滑--检索”。

方法一：直接将需要分析的文件拖向mdi-jade的图标，即可打开。

方法二：依次--- “file -- read -- 选择要分析的文件 -- 打开”即可。

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并不是有了jade就能一定分析出是什么物相

jade是一个pdf卡片的检索程序，通过给定的条件从pdf卡片库中检索出“基本上符合条件的物相卡片”。但，湖南xrd掠入射gixrd检测，这些卡片可能---不是你的样品中存在的物相，因为有些物相并没有相应的pdf卡片。这时候，jade就---为力了。这时，你多可以检索出与实际物相结构相近的卡片。