半导体XRD研究所-江苏半导体XRD检测

半导体xrd检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要---半导体产业发展的应用技术研究，---重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

x射线衍射技术是材料科学中常用的实验手段之一，其应用范围极广，可用于材料表征、结构分析等领域。掠入射x射线衍射gi-xrd技术是x射线衍射技术的一种，它与传统的xrd实验不同，主要是改变了x射线入射的角度和样品的朝向。掠入射xrd技术具有许多的优势，能够在材料表征和结构分析中发挥重要的作用。

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微区xrd可以测试某个区域的xrd谱图，但是测试区域需要大于等于0.5 mm，半导体xrd检测平台，不能太小。另外测试角度范围默认是5-90 °，其他角度需要先和老师沟通后再做决定。比如需要测试块体样品尺寸要求是长宽一般1-2 cm，厚度不超过5 mm)上面某一个或一些小区域的xrd，就可以用微区xrd来测试。

微区xrd原理跟一般xrd一样，只是beam很小是微米级，因此可以准确研究不同区域内的晶相结构。微区xrd的x射线束斑更小些(这个通过调节狭缝可以实现)。而一般的xrd的束斑面积在几十个微米见方。微区衍射可以应用于许多衍射研究，包括以下表征:样品上具有---梯度成份的小斑点，例如，污染物、夹杂物、矿物样品、---样品、古代绘画的微小横截面、考古样本、冶金工件、工具嵌件和图案化晶片。

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