半导体XRD检测报告-半导体XRD研究所

半导体xrd检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要---半导体产业发展的应用技术研究，---重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

xrd全称x射线衍射(x-raydiffraction)，利用x射线在晶体中的衍射现象来获得衍射后x射线信号特征，经过处理得到衍射图谱。利用谱图信息不仅可以实现常规显微镜的确定物相，并拥有“眼”来看晶体内部是否存在缺陷位错和晶格缺陷等。微区衍射也称为射线微区衍射、微区x射线衍射或 uxrd)分析使用非常窄的光束来进行区域内的高度局部化xrd测量。这可以使用能减少射出×射线的入射光束准直器来实现。使用单毛细管可以产生直径约为50 um 的入射x射线束。微区衍射技术通常用于具有不同组成、晶格应变或优选取向微晶的小样品或非均质样品。

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首先，我们必须强调的是xrd做含量分析非常不准，如果非要说检出限是多少主要是由什么决定的，那就是由仪器的功率和管电流决定的，如果要表征元素的含量---化学方法测或者原子吸收来做。

另外，xrd的检测限是不能简单的用％来表示的，这和被检测物质的分散度有很大关系，半导体xrd检测报告，也就是结晶度，与物质种类也有很大关系，样品的吸收系数大，检出限会高很多。如果非要确定出一个检出限，一般说是5%左右。但是，不同的物相，对x射线的吸收不同，则检出限会有较大出入。如单质硅，一般在1%左右可以检出，而另一些相，可能10%都难于检出。当然。在样品相同的情况下，使用较高的衍射功率，使用较长的扫描时间效果会---。不过，如果要延长扫描时间，如果延长一两倍是见不到效果的。

经验表明，如果使用常规的扫描速度能看到某种存在的迹象，那么，再采用1度/min或更慢的速度来扫描。如果使用常规扫描速度---都看不到痕迹，重庆半导体xrd检测，就没有---再费力了。进行半定量分析确实是很不准确，而且结果确实与晶粒大小相关。晶粒小的析出相，连检出都困难，更别说做定量分析了。晶粒小的物相会使其rir值增大，曾做过ceo2的rir值，在不同的温度下的产物，其rir值相差10倍。

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